超精密研磨は、加工速度が非常に遅い加工方法です。 成形加工には不向きです。 近年、短波長の光学部品やOA機器、AV機器の急速な発展により、部品の表面粗さに対する要求が高まっています。 これまでのところ、超精密研磨に勝るものはありません。 特に部品の表面粗さを0.0lμm以上にする必要がある場合、実用的な方法であり、この方法は不可欠です。 高い形状精度が要求されるワークの場合、強制送り方式で切断や研削を行うと、工作機械の送り精度や位置決め精度が形状精度に直接影響し、反動が生じ、加工効果が低下します。 、ワークピースの表面には同じ小さな凹部があり、一般に大きな波紋しか得られません。 の表面。
